致力于成為全球領先的
自動化解決方案平臺
? 適用于超高純氣體、特殊氣體
? 降低系統壓力
? 調節靈敏
? 耐腐蝕性強
? 閥體材料：316L、316L VAR 符合 SEMI F20
? 本體尺寸：1/4"-1/2"??
• 工作溫度: PCTFE: -40-71°C（ -40-160℉ ) / Vespel®: -10-90°C（ 14-194℉ )
• 進氣壓力：0-3500psig (0-241bar)
• 出氣壓力：1-300psig ( 0.07-20.7bar )
• 本體尺寸：1/4"-1/2"
• 膜片材料：哈氏合金
• 連接方式：卡套、可旋轉ECR內外螺紋、焊接、公頭/母頭ECR、NPT螺紋
• 閥體材料：316L、316L VAR 符合 SEMI F20
• 密封材料：PCTFE、Vespel®
• 閥體泄漏率(向內泄露)：2.0x10-11Pa·m3/s以下
• 閥體泄漏率(向外泄露)：2.0x10-10Pa·m3/s以下
• 閥座泄露率：4.0x10-9Pa·m3/s以下
• 閥門內部流道：電解拋光處理 Ra≤0.25μm
